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永鼎股份申请芯片生产的基本工艺参数控制专利提升芯片生产中划片工艺的参数控制质量
时间: 2024-05-18 17:28:26 | 作者: 开云app下载官网首页-计量仪表
（原标题：永鼎股份申请芯片生产的基本工艺参数控制专利，提升芯片生产中划片工艺的工艺参数控制质量）
金融界2023年12月16日消息，据国家知识产权局公告，江苏永鼎股份有限公司申请一项名为“用于芯片生产的工艺参数操控方法及系统“，公开号CN117234171A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明公开了用于芯片生产的工艺参数操控方法及系统，涉及智能控制技术领域，该方法有：获取目标芯片的N个划片工艺生产线；生成N个设备可靠性因子；生成N个监测划片质量数据集；进行偏移分析，生成N个质量偏移因子；确定预设划片工艺参数集；分别基于N个设备可靠性因子和N个质量偏离因子对预设划片工艺参数集的宽容阈值集合做调整，获得N个调整宽容阈值集合；进行参数寻优，获得N个目标最优工艺参数集合；分别传输至N个划片工艺生产线的N个参数控制单元进行工艺参数控制。本发明解决了现存技术中存在芯片划片质量均衡性差，参数控制效率低的技术问题，达到了提升芯片生产中划片工艺的工艺参数控制质量的技术效果。
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